精密陶瓷制造商
氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
全国服务热线
13412856568氮化铝、氮化硅、可加工陶瓷专业生产加工企业
全国服务热线
13412856568
陶瓷机械手臂又称陶瓷搬运臂，顾名思义，陶瓷机械手臂在半导体设备中起到搬运作用，它相当于半导体设备这个机器人的手，负责搬运晶圆硅晶片到指定位置。因为晶圆硅晶片在极其容易受到其他颗粒的污染，所以一般在真空环境下进行。有兴趣的朋友可以联系钧杰陶瓷热线电话：13712574098。
在此环境下，大部分材料的机械手臂一般难以完成工作，制作机械手臂的材料需要耐高温、耐磨、并且硬度也需要很高。这时有人发现了精细陶瓷材料可以满足这些条件，一般的陶瓷机械手臂有两种，一种是氧化铝陶瓷机械手臂，另一种是碳化硅陶瓷机械手臂。
.jpg)
氧化铝陶瓷和碳化硅陶瓷的都具备致密质、高硬度、高耐磨性的物理性质，以及良好的耐热性能、优良的机械强度、高温环境仍具有良好的绝缘性、良好的抗腐蚀性等物理性能，是用于制作半导体设备机械手臂的绝佳材料。
但是就性能来说，碳化硅陶瓷制作的机械手臂会优于氧化铝陶瓷制作的机械手臂。
常压烧结碳化硅陶瓷制品，采用高纯超细碳化硅微粉，经2450℃高温烧结而成，碳化硅含量在99.1%以上，制品密度≥3.10g/cm3,不含金属硅等金属杂质。
碳化硅陶瓷材料主要性质：
耐高温--1800℃温度下正常使用；
高热导性--和石墨材料的导热性相当；
硬度高--硬度仅次于金刚石、立方氮化硼；
耐腐蚀--强酸、强碱对其无任何腐蚀，抗腐蚀性优于碳化钨和氧化铝；
重量轻--密度3.10g/cm3,与铝接近，；
不变形--极小的热膨胀系数，
抗热震--该材料可承受急剧的温度变化，抗热冲击，耐急冷急热,性能稳定。
从材料性质来看，碳化硅陶瓷用于制作陶瓷机械手臂较为合适，但是从材料价格、加工难度等经济方面来说，氧化铝陶瓷机械手臂的性价比更高。氧化铝陶瓷具备制作机械手臂的所有需求，性价比高于碳化硅，但是碳化硅性能比氧化铝好，选择哪种材料制作半导体机械手臂主要也看个人需求了。
