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碳化硅陶瓷承载盘 碳化硅陶瓷的特性与金刚石非常相似,它是最轻、最硬、最坚固的技术陶瓷材料之一。同时,碳化硅陶瓷具有出色导热性、耐酸性和低热膨胀性,是一款正儿八经的半导体陶瓷,碳化硅陶瓷加工而成的工件贯穿了整个半导体行业的芯片制造过程,碳化硅陶瓷承载盘就是一款应
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